Search results for "suspended graphene"
showing 1 items of 1 documents
Suspended graphene device fabrication
2016
Tämän pro gradu -tutkielman aiheena oli tutkia itsekantavien grafeeninäytteiden valmistusta. Grafeeni syntetisoitiin kaasufaasikasvatuksella ilmakehän paineessa kupariohutkalvoille. Kupariohutkalvot valmistattiin käyttämällä elektronisuihkuhöyrystystä. Projektin aikana synteesiprosessia parannettiin optimoimalla synteesiparametreja. Syntetisoinnin jälkeen grafeeninäytteet siirrettiin piinitridikalvoille, joihin oli valmistettu reikiä. Viimeinen vaihe siirrossa on PMMA tukikerroksen poisto grafeenin päältä, jota tutkittiin käyttämällä kahta eri menetelmää. Näistä ensimmäinen menetelmä oli lämpökäsittely ja toinen kriittisen pisteen kuivaus PMMA:n asetoniin liuottamisen jälkeen. Näytteet kuva…